1.X射线单色器，双阳极靶；2.小面积XPS；3.成像分辨率小于3微米；4.常规能量范围0到1350eV.

成像功能；俄歇电子能谱功能（AES）；离子散射能谱（ISS）反射电子能量损失谱（REELS）；深度剖析功能（原子团簇离子枪）；角分辨功能

形态和尺寸要求：薄膜样品或块状样品，高度小于3mm;粉末样品，粒度小于75微米，颗粒样品需先自行研磨至粉末样品。 样品成分要求：样品无磁性、无挥发性气体产生、无腐蚀性。

材料、化学化工、半导体、地质学、生物学、物理学等领域

1.材料表面化学元素价态分析；2.元素含量半定量分析；

常规样品常规分析，700元/点。特殊样品个别分析按实际工作量协商定价。