配置及技术指标: 光管功率：2-3kW,测角仪半径：320nm,探测器线性范围：≥1000000cps,角度重现性：0.0001°

服务内容: 用于薄膜材料的以下测量：  物相分析  晶粒尺寸  小角散射  晶格常数测定  结晶度测定  残余应力测定  薄膜厚度测量  摇摆曲线测量