5 个 SMU 中等功率源测量单元：最大电压：210V；最大电流：100mA 分辨率:0.1pA；2 个 PA 前置放大器：最大电压：210V；最大电流：10nA 分辨率:0.1fA；1 个 CVU 电容测量模块：电压偏置：±30V；测量范围：1pF～1μF；频率范围：1kHZ～10MHZ；1 个 PMU/RPM 脉冲 IV 测量模块：最大电压：40V；最大电流：10mA；小测量时间:20ns；

用于半导体器件的 IV、CV、PIV 和寿命等特性的测试。

集成电路电压、电容、PCM参数测试；

PCM测试；IV；CV测试；

600 元/小时；定制测试板：2.5 万元/块。PCM测试：Kiethley 4200 SCS/CB1500