卡盘大小:300mm；卡盘 XY 轴最大行程：300mm；卡盘 Z 轴最大行程：15mm；显微镜最大行程：50mm；射频探针：20GHZ/40GHZ；有源射频探针：DCto26GHz；

用于12寸、8寸、6寸、4寸、2寸晶片的在片测试，最多可提供8根直流探针和2根20GHZ/40GHZ 射频探针，亦可使用有源射频探针进行内核电路测试。

集成电路；电子器件；

主机（含 4 根直流探针）：常温 500 元/小时；高温 800 元/小时；探针附件（一根价格）：直流探针：50 元/小时；射频探针：200 元/小时；有源射频探针：400 元/小时；