1.分辨率:二次电子图像:高真空模式1.0 nm @ 30 kV,3.0 nm @ 1 kV;背散射电子像:高真空模式2.5 nm @ 30 kV,低真空及环境真空模式1.4 nm @ 30 kV. 2.加速电压范围为200 V~ 30 kV,束流范围为0.8 pA ~ 100 nA(15kV)、0.8 pA ~ 100 nA(2 kV)、0.8 pA ~ 100 nA(1 kV);3.可通气体包括:Air、H2O、N2、CO2、NO2、Ar、CXHY等
1.二次电子、背散射电子成像;2.EDS能谱分析(点、线、面);3.气体环境实验。
材料、化学化工、半导体、地质学、生物学、物理学等领域
材料、化学化工、半导体、地质学、生物学、物理学等领域,低气压环境、各种气氛中的扫描电镜观察。