氩离子源，倾转角±10°，氩离子能量范围0.1 ~ 8.0 keV，载台X和Y方向的移动范围为±0.5 mm，双离子枪减薄，CCD实时观察，触摸屏调控，液氮冷台
采用聚焦离子束制备金属、陶瓷、薄膜、复合材料、颗粒等各种材料的透射电镜试样（包括截面样品），薄区面积大、损伤小。
材料、化学化工、半导体、地质学、生物学、物理学等领域
